3、由于传统的硅的生产技术已经很成熟,所以在光电集成中,依然采用晶体硅作为基底,继续沿用高度发展的硅集成工艺。
6、以硅基光电集成回路为主线,综述了不同的硅基光波导材料的制备技术和硅基光波导的制作工艺及其对光传输损耗的影响。
4、基于该单屏蔽光电集成强电场传感器,组成了强电场测量系统,提出并实施了验*测量系统*设备稳定*的实验方案。
2、对TO 70XX系列单屏蔽光电集成强电场传感器的静态偏置点的稳定*进行了实验研究。
5、光电集成电场传感器用于电场测量,具有抗干扰*好,对被测电磁场的影响小以及响应速度快等特点。
1、设计了一种与标准CMOS工艺完全兼容的高速光电探测器和宽带光电集成接收机,并采用0。