用“谐振式压力传感器”造句大全，谐振式压力传感器造句

研究了微电容式压力传感器的差动电容结构设计和微谐振式压力传感器的微谐振子结构设计，利用ANSYS软件对微差动电容的结构进行了优化设计。

除此之外，硅微谐振式压力传感器还具有响应快、频带宽、结构紧凑、功耗低、体积小、重量轻、可批量生产等众多优点，一直是各国研究和开发的重点。